
NTN的磁陣列旋轉傳感器
NTN的磁陣列旋轉傳感器
對小型的高精度的旋轉角度檢測
對小型的高精度的旋轉角度檢測
NTN軸承有限公司與靜岡大學共同開發了可以0.36度(1000分之一旋轉)的精度檢測到小型的旋轉角度的“磁陣列式旋轉傳感器。
以前的磁式旋轉傳感器,由于N,S極交替形成的磁編碼器的制作精度的問題,小型化和高精度化的兩立很難,另外,絕對角度檢測另外需要信號處理電路。
開發的傳感器,是基于靜岡大學電子工學研究所的川人祥二教授的想法的,在半導體芯片表面上排列成矩形狀形成的500個以上的磁傳感器元件(磁傳感器陣列),不接接對向的磁鐵的旋轉角度。是用觸檢測的。
從各磁傳感器元件測量的磁場分布,進行運算處理,計算磁鐵的絕對旋轉角度,從而提高檢測分辨率,并不需要與磁石的高精度的位置配合。4.2mm角的傳感器芯片上,集成了磁傳感器元件、AD轉換電路(*)和角度運算電路,同時實現了小型化和高功能化。
作為用途,有需要在省空間中高精度定位的小型機器,或者在加入電源后馬上需要絕對角度信息的機器人關節等。今后,將進行本共同研究成果的許可證和旋轉傳感器付軸承、角度傳感器的用途,進行靜岡大學和技術轉移事業(財)濱松科學技術研究振興會(靜岡TON)進行合作。
此外,本年2月在舊金山舉辦的集成電路奧運會的國際固體電路會議(ISSCC2005)獲得了最優秀論文的貝亞特斯獎。
AD轉換電路是將模擬信號轉換為數字值的電路
[特點]
1 磁性傳感器陣列的新的小型高精度的角度檢測方式
2 絕對可以檢測角度(打開電源后馬上發現角度)
3 磁鐵和傳感器的高精度的位置不需要(容許差±0.4mm)
4 可以在標準的半導體過程中制造(不需要特殊過程)
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